| 摘要 |
<p>본 발명은 고분자 도장을 사용하여 유기 박막을 기판 위에 인쇄하고 금속 유기 화학 기상 증착법을 사용하여 유기박막이 없는 표면에만 산화티타늄 박막을 증착시켜 형상화시킬 수 있는 미세 접촉 인쇄법과 선택적 화학 기상 증착법을 결합하여 산화티타늄 및 다양한 단층 및 다층 고기능성 박막들을 형성하는 방법에 관한 것으로, 제 1 기판(2)위에 리소그래피를 이용하여 요철을 갖는 주형(4)을 형성하는 단계와, 기판(2) 위에 형성된 패턴 주형(4)으로 상부측에 고분자 폴리디메틸실록세인(PDMS)을 중합시켜 고분자 탄성체 도장(6)을 형성하는 단계 및 고분자 탄성체 도장(6)에 유기 화합물 잉크로 코팅(14)한후 제 2 기판(8)상에 미세접촉인쇄를 이용해 코팅막(10)을 형성하는 단계, 그리고 상기 기판(8)상에 형성된 코팅막(10) 사이에 화학 기상 증착법으로 산화티타늄 단층 및 다층산화물 박막(12,16,18)을 형성하는 단계로 이루어지도록 구성된다.</p> |
