Polymer, resist composition and patterning process,申请号EP20010301953-传众专利搜索

发明名称	Polymer, resist composition and patterning process
摘要
申请公布号	EP1132774(B1)	申请公布日期	2009.01.07
申请号	EP20010301953	申请日期	2001.03.05
申请人	SHIN-ETSU CHEMICAL CO., LTD.	发明人	NISHI, TSUNEHIRO;HASEGAWA, KOJI;WATANABE, TAKERU;KINSHO, TAKESHI;HATAKEYAMA, JUN
分类号	G03F7/004;G03F7/039;C08F232/08	主分类号	G03F7/004
代理机构		代理人
主权项
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