用于组合式传感器装置的集成机械组件设计

摘要

本发明涉及用于组合式传感器装置的集成机械组件设计。一种用于测量湿度、压力和温度的集成的机械组合式传感器装置和方法。压力传感器和ASIC可以安装在第一隔室中，且温度传感器安装在壳体的第二隔室中。类似地，湿度传感器可以安装在第三隔室中，使得压力传感器、温度传感器和湿度传感器彼此隔离开。与传感器和ASIC相关联的传感器元件可通过用于电连接的引线接合连接至引线框端子。可使用压力盖和湿度盖来覆盖压力传感器和湿度传感器。湿度传感器可包括疏水过滤器，以便防止水汽饱和的空气到达感测元件，以提供其准确的传感器测量。

主权项

1.一种用于构造集成的组合式传感器装置的方法，其包括，将压力传感器和信号调节器安装在与组合式传感器模块的至少一个引线框相关联的壳体的第一隔室中；将温度传感器安装在第二隔室中，且将湿度传感器安装在与所述壳体相关联的第三隔室中；以及将与所述压力传感器、所述温度传感器和所述湿度传感器相关联的至少一个感测元件电联接至所述信号调节器，以便调节输出信号并产生其经调节的输出，以允许所述组合式传感器模块以高精度和更快的响应时间来测量环境参数。