用于确定压印模具的图案的方法、压印方法和装置

摘要

在本发明中，在包含压缩气体的气氛中执行的压印处理中，图案以比现有技术高的准确度形成在基板上。提供有一种用于使用计算机来确定模具的图案的确定方法，这种模具被用在通过执行以下步骤而在压印材料上形成图案的压印处理中：在包含通过压缩而液化的压缩气体的气氛中，将基板上的压印材料和模具的图案压在一起的步骤；固化压印材料的步骤；以及使压印材料和模具分离的步骤。在按压步骤中，作为压印材料和模具之间的压缩气体液化的结果并且已渗入压印材料中的凝结液体在按压步骤完成之后与压印材料分离，并且引起压印材料的图案的收缩；计算该收缩的量；并且使用收缩量来确定模具图案的尺寸。

主权项

一种通过使用计算机来确定模具的图案的确定方法，所述模具的图案被用在通过执行以下步骤来在压印材料上形成图案的压印处理中：在包含将会因压缩而液化的可凝结气体的气氛中将基板上的压印材料压向模具的图案、固化压印材料、以及从压印材料中释放模具，所述方法包括以下步骤：计算压印材料上的图案的收缩量，所述压印材料上的图案由于凝结液体在按压步骤完成之后从压印材料中解吸而收缩，所述凝结液体是通过在按压步骤中在压印材料与模具的图案之间的可凝结气体的液化而产生的并且溶解在压印材料中；以及通过使用所计算的收缩量来确定模具的图案的尺寸。