发明名称 |
NONNELECTRODE HF DISCHARGE LAMP UNIT |
摘要 |
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申请公布号 |
JPS5334379(A) |
申请公布日期 |
1978.03.30 |
申请号 |
JP19770038316 |
申请日期 |
1977.04.04 |
申请人 |
HITACHI LTD |
发明人 |
KOIZUMI HIDEAKI;SEKI KIWAO;OOISHI KOUNOSUKE;TETSUO HADEISHI |
分类号 |
H01J65/04;G01N21/01;G01N21/31;H01J65/00 |
主分类号 |
H01J65/04 |
代理机构 |
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代理人 |
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主权项 |
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地址 |
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