发明名称 PRODUCTION OF SEMICONDUCTOR WAFER
摘要
申请公布号 JPS5360184(A) 申请公布日期 1978.05.30
申请号 JP19760134193 申请日期 1976.11.10
申请人 OKI ELECTRIC IND CO LTD 发明人 MATSUOKA SUSUMU;OOTA YUTAKA;USUI TAIJI
分类号 H01L21/762;H01L21/76 主分类号 H01L21/762
代理机构 代理人
主权项
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