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发明名称
摘要
申请公布号 JPS5518054(B2) 申请公布日期 1980.05.16
申请号 JP19750120984 申请日期 1975.10.06
申请人 发明人
分类号 H01L27/08;H01L21/31;H01L21/316;H01L21/331;H01L21/336;H01L21/76;H01L21/86;H01L29/02;H01L29/73;H01L29/78 主分类号 H01L27/08
代理机构 代理人
主权项
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