| 主权项 |
1.一种真空卡式升降机的抽气管路,至少包含:一第一隔绝阀门,与真空卡式升降机连接,做为真空吸引口;一蛇腹管,与该一隔绝阀门连接;一第二隔绝阀门,一端与该蛇腹管连接,另一端与一真空抽气装置连接,形成真空抽气管路。2.如申请专利范围第1项之抽气管路,其中在该真空吸引口与该第一隔绝阀门之间,该第一隔绝阀门与该蛇腹管之间,该蛇腹管与该第二隔绝阀门之间,以及该第二隔绝阀门与该真空抽气装置之间,是用钢管加以连接。3.如申请专利范围第1项之抽气管路,对该真空卡式升降机破除真空动作之前,必须同时关闭该第一隔绝阀门与该第二隔绝阀门,避免该蛇腹管暴露于空气之中。4.如申请专利范围第1项所述之抽气管路,该第一隔绝阀门与该第二隔绝阀门的控制方法,是使用压缩空气控制阀门的开关,以同一条压缩空气管路送入压缩空气,同时控制两个阀门的开关。5.一种真空卡式升降机的真空抽气方法,至少包含:对真空卡式升降机进行真空抽气,经由在该真空卡式升降机之上的一真空吸引口,该真空吸引口连接一第一隔绝阀门,再连接一蛇腹管,再连接到一第二隔绝阀门,然后连接到一真空抽气装置;同时关闭该第一隔绝阀门与该第二隔绝阀门,该蛇腹管保持在真空状态之下;送入气体至该真空卡式升降机之中,破除该真空卡式升降机的真空状态。6.如申请专利范围第5项所述之抽气方法,其中在该真空吸引口与该第一隔绝阀门之间,该第一隔绝阀门与该蛇腹管之间,该蛇腹管与该第二隔绝阀门之间,以及该第二隔绝阀门与该真空抽气装置之间,是用钢管加以连接。7.如申请专利范围第5项所述之抽气方法,该第一隔绝阀门与该第二隔绝阀门的控制方法,是使用压缩空气控制阀门的开关,以同一条压缩空氧管路送入压缩空气,同时控制两个阀门的开关。图式简单说明:第一图显示出自动化蚀刻机台的俯视图,在中央的负载室的周围,连接真空卡式升降机、对准室与蚀刻反应室,负载室的机械手臂从真空卡式升降机取出晶圆,经过对准室,至蚀刻反应室进行制程;第二图显示习知的真空卡式升降机抽气管路,在真空卡式升降机的外部连接钢管,经过蛇腹管,连接隔绝阀门,与真空帮浦连接,对真空卡式升降机作真空抽气;第三图显示本发明之具体实施例的真空卡式升降机抽气管路,从真空卡式升降机连接钢管,经过第一隔绝阀门,连接到蛇腹管,再连接到第二隔绝阀门,最后与真空帮浦相接,对真空卡式升降机作真空抽气。 |
