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发明名称 EQUIPMENT AND METHOD FOR INSPECTING EXTERNAL APPEARANCE OF WAFER
摘要
申请公布号 JPH04326544(A) 申请公布日期 1992.11.16
申请号 JP19910096492 申请日期 1991.04.26
申请人 NEC CORP 发明人 FUJII KIZASHI
分类号 G01N21/88;G01N21/956;H01L21/66 主分类号 G01N21/88
代理机构 代理人
主权项
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