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经营范围
发明名称 PLASMA CVD DEVICE
摘要
申请公布号 JPH059741(A) 申请公布日期 1993.01.19
申请号 JP19910156670 申请日期 1991.06.27
申请人 KAWASAKI STEEL CORP 发明人 HIRATA TADASHI
分类号 C23C16/50 主分类号 C23C16/50
代理机构 代理人
主权项
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