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发明名称
LAMINATED THIN-FILM CIRCUIT USING TEFLON PFA OR TEFLON FEP AS DIELECTRIC INSULATOR AND ITS FORMATION METHOD
摘要
申请公布号
JPH0661358(A)
申请公布日期
1994.03.04
申请号
JP19920171255
申请日期
1992.06.29
申请人
DIGITAL EQUIP CORP <DEC>
发明人
RICHIYAADO EI SUTANDAA
分类号
H01L23/522;H01L21/768;H01L27/00;H05K1/03;(IPC1-7):H01L21/90
主分类号
H01L23/522
代理机构
代理人
主权项
地址
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