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发明名称 METHOD AND APPARATUS FOR COATING A SUBSTRATE
摘要
申请公布号 EP0745147(A1) 申请公布日期 1996.12.04
申请号 EP19950907511 申请日期 1995.02.02
申请人 THE AUSTRALIAN NATIONAL UNIVERSITY 发明人 BOSWELL, RODERICK;DURANDET, ANTOINE;MACKENZIE, DAVID
分类号 C30B29/06;C23C14/30;C23C14/32;C30B29/18;C30B29/38;H01J37/32;H01L21/203;(IPC1-7):C23C14/30 主分类号 C30B29/06
代理机构 代理人
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