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发明名称 SPIN WASHING METHOD AND APPARATUS THEREFOR
摘要
申请公布号 JPH09260329(A) 申请公布日期 1997.10.03
申请号 JP19960062760 申请日期 1996.03.19
申请人 SHIBAURA ENG WORKS CO LTD 发明人 KABAYA SHIZUO
分类号 H01L21/304;B08B1/04;(IPC1-7):H01L21/304 主分类号 H01L21/304
代理机构 代理人
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