| 发明名称 |
Apparat og fremgangsmåde til behandling af en wafer af halvledermateriale |
| 摘要 |
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| 申请公布号 |
DK0614497(T3) |
申请公布日期 |
1998.05.18 |
| 申请号 |
DK19930915843T |
申请日期 |
1993.07.07 |
| 申请人 |
COBRAIN N.V. |
发明人 |
BRASSEUR, GUY JEAN JACQUES |
| 分类号 |
G03F7/26;C23C16/44;C23C16/458;C23C16/46;H01L21/027;(IPC1-7):C23C16/04 |
主分类号 |
G03F7/26 |
| 代理机构 |
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代理人 |
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| 主权项 |
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| 地址 |
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