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发明名称 ELECTRON-BEAM DRAWING APPARATUS
摘要
申请公布号 JPH1131651(A) 申请公布日期 1999.02.02
申请号 JP19970188152 申请日期 1997.07.14
申请人 SONY CORP 发明人 KATSUMATA MIKIO
分类号 G21K5/04;G03F7/20;H01L21/027;(IPC1-7):H01L21/027 主分类号 G21K5/04
代理机构 代理人
主权项
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