发明名称 HEATING DEVICE FOR SEMICONDUCTOR WAFER
摘要
申请公布号 JPH11251324(A) 申请公布日期 1999.09.17
申请号 JP19980367023 申请日期 1998.12.24
申请人 LG SEMICON CO LTD 发明人 JIN-SEOK YO
分类号 H01L21/324;C23C14/50;C23C14/54;H01L21/00;(IPC1-7):H01L21/324 主分类号 H01L21/324
代理机构 代理人
主权项
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