| 发明名称 |
Method of fabricating a device having a desired non-planar surface or profile and device produced thereby |
| 摘要 |
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| 申请公布号 |
AU2002359265(A1) |
申请公布日期 |
2003.04.28 |
| 申请号 |
AU20020359265 |
申请日期 |
2002.10.15 |
| 申请人 |
THE REGENTS OF THE UNIVERSITY OF MICHIGAN |
发明人 |
KHALIL NAJAFI;CHOU TSUNG-KUAN |
| 分类号 |
B81C1/00;H01L21/302;H01L21/306;H01L21/3065;H01L21/331;(IPC1-7):H01L21/00 |
主分类号 |
B81C1/00 |
| 代理机构 |
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代理人 |
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| 主权项 |
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| 地址 |
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