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发明名称 Method of fabricating epitaxial semiconductor devices on silicon substrate
摘要
申请公布号 IN184088(B) 申请公布日期 2000.06.03
申请号 IN1994MA24219 申请日期 1994.03.30
申请人 GENERAL SEMICONDUCTOR, INC. 发明人 ZAKALUK GREGORY;GARBIS DENNIS;CHAN, JOSEPH, Y.;LATZA JOHN;LATERZA LAWRENCE
分类号 H01L21/00;(IPC1-7):H01L21/00 主分类号 H01L21/00
代理机构 代理人
主权项
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