| 发明名称 | 光学元件、光学元件的制造方法、涂布装置及涂布方法 | ||
| 摘要 | 本发明提供树脂制的光学元件的制造方法，该方法在使用具备凹部的基片的光学元件的制造过程中，能够容易地去除凹部内的覆膜。该光学元件具有基片(1)、配置在基片(1)上的部分区域的树脂制的光波导结构层(10)、在未配置光波导结构层(10)的区域形成的凹部(21)。光波导结构层(10)含有光波导(4)和包层。在基片(1)和光波导结构层(10)之间配置连接层，在光波导(4)的下部区域中的连接层的膜厚分布范围是在最小膜厚大于等于30埃、最大膜厚小于等于200埃的范围。 | ||
| 申请公布号 | CN100456063C | 申请公布日期 | 2009.01.28 |
| 申请号 | CN02810961.9 | 申请日期 | 2002.05.30 |
| 申请人 | 日立化成工业株式会社 | 发明人 | 黑田敏裕;近藤圆华;吉野淳;宫寺信生 |
| 分类号 | G02B6/122(2006.01);G02B6/13(2006.01);B05C11/08(2006.01) | 主分类号 | G02B6/122(2006.01) |
| 代理机构 | 北京银龙知识产权代理有限公司 | 代理人 | 钟晶 |
| 主权项 | 1.光学元件，其特征在于，具有基片、配置在该基片上的树脂制的光波导结构层，所述光波导结构层含有光波导和包层，在所述基片和所述光波导结构层之间，配置有机锆化合物层作为连接层，在所述光波导的下部的区域中的所述有机锆化合物层的膜厚分布范围是在最小膜厚大于等于50埃、最大膜厚小于等于150埃的范围，所述光波导结构层配置在所述基片上的部分区域，在所述基片上的未配置所述光波导结构层的区域形成搭载光纤用凹部。 | ||
| 地址 | 日本东京 | ||