VERFAHREN ZUM BETRIEB EINER LADUNGSTEILCHENSTRAHLVORRICHTUNG

摘要

Verfahren zum Betrieb einer Ladungsteilchenstrahlvorrichtung, die aufweist: eine Ladungsteilchenstrahl-Bestrahlungseinheit (105) zur Bestrahlung einer Probe mit einem Ladungsteilchenstrahl, und einen Absorptionsstromdetektor (109~113, 202, 208) zur Erfassung eines Absorptionsstroms, der durch den abgestrahlten Ladungsteilchenstrahl in der Probe erzeugt wird, wobei in dem Verfahren die Ladungsteilchenstrahlvorrichtung die Probe mit dem Ladungsteilchenstrahl abtastet und ein Absorptionsstrombild aufnimmt, und der Absorptionsstromdetektor wahlweise so angeordnet wird, dass er die Probe berührt und den durch ihn fließenden Absorptionsstrom erfasst, oder dass er von der Probe getrennt ist und, während ein durch die Bestrahlung mit dem Ladungsteilchenstrahl aus der Probe abgestrahlte Ladungsteilchenstrahl auf ihn fällt, den auf ihn fallenden Ladungsteilchenstrahl als Signalstrom erfasst, der abhängig von dem Winkel ist, der relativ zu der Normallinienrichtung der Vorderseite der Probe oder der Einfallsrichtung des Ladungsteilchenstrahls von der Richtung von der Bestrahlungsposition des Ladungsteilchenstrahls auf der Probe hin zu dem Absorptionsstromdetektor gebildet wird.