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经营范围
发明名称
PLASMA TESTER
摘要
申请公布号
JPS5465299(A)
申请公布日期
1979.05.25
申请号
JP19770130799
申请日期
1977.11.02
申请人
HITACHI LTD
发明人
FURUYAMA MASAYUKI
分类号
H05H1/00;G21B1/00;H05H1/02
主分类号
H05H1/00
代理机构
代理人
主权项
地址
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