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发明名称 SPUTTERING DEVICE
摘要
申请公布号 JPH01259166(A) 申请公布日期 1989.10.16
申请号 JP19880085631 申请日期 1988.04.07
申请人 ANELVA CORP 发明人 HIROTA YOSHIHIRO;NANBU TETSUO;IGARASHI TAKETOSHI
分类号 C23C14/34;C23C14/02;C23C14/50 主分类号 C23C14/34
代理机构 代理人
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