发明名称 MANUFACTURE OF THIN-FILM TRANSISTOR AND MANUFACTURE OF LINE SENSOR
摘要
申请公布号 JPH01307267(A) 申请公布日期 1989.12.12
申请号 JP19880138845 申请日期 1988.06.06
申请人 MATSUSHITA ELECTRIC IND CO LTD;MATSUSHITA GRAPHIC COMMUN SYST INC 发明人 OGAWA KUNI;KUMABE KENJI;NOMURA KOJI;TERAUCHI MASAHARU;NISHITANI MIKIHIKO;HARADA YOICHI;YOSHIGAMI NOBORU
分类号 H01L21/471;H01L21/473;H01L27/14;H01L27/146;H01L29/78;H01L29/786 主分类号 H01L21/471
代理机构 代理人
主权项
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