发明名称 |
METHOD AND APPARATUS FOR INSPECTING APPEARANCE, AND METHOD FOR REMOVING CAUSE OF ABNORMALITY |
摘要 |
|
申请公布号 |
JPH0427850(A) |
申请公布日期 |
1992.01.30 |
申请号 |
JP19900202441 |
申请日期 |
1990.08.01 |
申请人 |
HITACHI LTD |
发明人 |
KIYASU CHIYA;NINOMIYA TAKANORI |
分类号 |
G01B21/30;B23Q17/20;G01N21/88;G01N21/94;G06T1/00;G06T7/00;H05K3/00 |
主分类号 |
G01B21/30 |
代理机构 |
|
代理人 |
|
主权项 |
|
地址 |
|