发明名称 SUBSTRATE PROCESSING
摘要
申请公布号 JPH0428227(A) 申请公布日期 1992.01.30
申请号 JP19900132996 申请日期 1990.05.23
申请人 MITSUBISHI ELECTRIC CORP 发明人 FUJII ATSUHIRO
分类号 H01L21/205;C23C16/40;C23C16/44;C23C16/448;C23C16/455;C23C16/52;H01L21/31;H01L21/316 主分类号 H01L21/205
代理机构 代理人
主权项
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