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Water soluble blends are provided of alkanolacrylamide, water soluble hydroxyl containing film forming organic oligomer and an effective amount of an onium salt photoinitiator. These photocurable compositions can be used as photoresists.
申请公布号
JPH045379(B2)
申请公布日期
1992.01.31
申请号
JP19840189845
申请日期
1984.09.12
申请人
发明人
分类号
G03F7/004;C08F2/48;G03F7/027;G03F7/029;G03F7/038;H01L21/027
主分类号
G03F7/004
代理机构
代理人
主权项
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