| 发明名称 |
TERMINATION POINT DETECTION EQUIPMENT FOR PLASMA ETCHING |
| 摘要 |
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| 申请公布号 |
JPH04275421(A) |
申请公布日期 |
1992.10.01 |
| 申请号 |
JP19910037321 |
申请日期 |
1991.03.04 |
| 申请人 |
MATSUSHITA ELECTRIC IND CO LTD |
发明人 |
MAKINO TAKAMOTO |
| 分类号 |
H01L21/302;G01N21/68;H01L21/3065 |
主分类号 |
H01L21/302 |
| 代理机构 |
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代理人 |
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| 主权项 |
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| 地址 |
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