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发明名称 SEMICONDUCTOR MEMORY STORAGE AND MANUFACTURE THEREOF
摘要
申请公布号 JPH09181271(A) 申请公布日期 1997.07.11
申请号 JP19950350084 申请日期 1995.12.22
申请人 NIPPON STEEL CORP 发明人 TANI TOMOFUNE
分类号 H01L21/76;H01L21/8242;H01L27/108;(IPC1-7):H01L27/108;H01L21/824 主分类号 H01L21/76
代理机构 代理人
主权项
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