发明名称 WASHER
摘要
申请公布号 JPH09181033(A) 申请公布日期 1997.07.11
申请号 JP19950338357 申请日期 1995.12.26
申请人 HITACHI LTD 发明人 YUI HAJIME;KITANO MANABU
分类号 H01L21/304;(IPC1-7):H01L21/304 主分类号 H01L21/304
代理机构 代理人
主权项
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