发明名称 SEMICONDUCTOR DEVICES AND METHODS
摘要
申请公布号 EP0754349(A4) 申请公布日期 1998.01.14
申请号 EP19950915574 申请日期 1995.04.06
申请人 THE BOARD OF TRUSTEES FOR THE UNIVERSITY OF ILLINOIS 发明人 HOLONYAK, NICK, JR.;MARANOWSKI, STEVEN, A.;KISH, FRED, A.
分类号 H01L21/28;H01L21/316;H01L21/336;H01L29/51;H01L33/00;H01L33/30;H01S5/00;H01S5/16;H01S5/22;H01S5/223;H01S5/323;H01S5/343;(IPC1-7):H01L21/20;H01L21/203;H01S3/19 主分类号 H01L21/28
代理机构 代理人
主权项
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