发明名称 MANUFACTURE OF DYNAMIC RANDOM ACCESS MEMORY PROVIDED WITH TWO-DIMENSIONAL TRENCH CAPACITOR
摘要
申请公布号 JPH11233736(A) 申请公布日期 1999.08.27
申请号 JP19980150206 申请日期 1998.05.29
申请人 SHIJIE XIANJIN INTEGRATED CIRCUIT CO LTD 发明人 LEE MEIKA;LU CHIH-YUAN
分类号 H01L27/108;H01L21/8242;(IPC1-7):H01L27/108;H01L21/824 主分类号 H01L27/108
代理机构 代理人
主权项
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