发明名称 |
MANUFACTURE OF DYNAMIC RANDOM ACCESS MEMORY PROVIDED WITH TWO-DIMENSIONAL TRENCH CAPACITOR |
摘要 |
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申请公布号 |
JPH11233736(A) |
申请公布日期 |
1999.08.27 |
申请号 |
JP19980150206 |
申请日期 |
1998.05.29 |
申请人 |
SHIJIE XIANJIN INTEGRATED CIRCUIT CO LTD |
发明人 |
LEE MEIKA;LU CHIH-YUAN |
分类号 |
H01L27/108;H01L21/8242;(IPC1-7):H01L27/108;H01L21/824 |
主分类号 |
H01L27/108 |
代理机构 |
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代理人 |
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主权项 |
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地址 |
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