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发明名称 SEMICONDUCTOR INTEGRATED CIRCUIT
摘要
申请公布号 JPH11233634(A) 申请公布日期 1999.08.27
申请号 JP19980029474 申请日期 1998.02.12
申请人 MITSUBISHI ELECTRIC CORP;MITSUBISHI ELECTRIC ENGINEERING CO LTD 发明人 MATSUMOTO YASUHIRO;NOZAKI RIEKO;ASAKURA MIKIO;NAKANO MASAYA;SAKAMI KAZUHIRO
分类号 H01L21/82;(IPC1-7):H01L21/82 主分类号 H01L21/82
代理机构 代理人
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