一种使用MEMS微镜检测触摸物坐标的光路系统

摘要

本发明涉及一种使用MEMS微镜构建的、用于测触摸物的坐标的光学扫描系统。本发明使用偏转角度与驱动电压或电流成一定函数关系的MEMS微反射镜作为光反射元件，在光学组件的光路上安装有激光源、透射面面对光源的半反射镜，以及面向半反射镜的反射面光学接收元件。在被检测区域相邻的两个角部，安装有两套这样的光扫描组件构成光扫描系统。在检测到触摸标的物所反射的光线以后，根据两个MEMS微反射镜的偏转角度，利用两条入射反射光线之间的几何关系，计算得到触摸物的坐标值。由于本发明的结构属于半永久性的结构，因此具有非常长的使用寿命；并且所使用的元件都是微型或小型元件，因此可以用于体积很小的设备。

主权项

1.一种使用MEMS微镜检测触摸物坐标的光路系统，由两个包含有光源、半反射镜、反射镜、光电接收元件的光扫描组件构成，安装在被检测区域两侧相邻的角部，其特征在于：所述光源是一只激光发射元件，所发射的激光束照射到一只制作在半导体材料上的MEMS微型光反射镜上；在所述光源与所述反射镜之间的光路上，还安装有一只单面透光的半反射镜，其透射面面对着光源发射的激光束并成一不等于90°的夹角；光电接收元件面对着半反射镜的反射面安装；所述两个光扫描组件中的反光镜，其反射面均面向被检测区域安装。