发明名称 MANUFACTURE OF SEMICONDUCTOR DEVICE
摘要
申请公布号 JPH02218134(A) 申请公布日期 1990.08.30
申请号 JP19890038768 申请日期 1989.02.17
申请人 FUJITSU LTD 发明人 SATO SHIGEO
分类号 H01L29/73;H01L21/331 主分类号 H01L29/73
代理机构 代理人
主权项
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