发明名称 MANUFACTURE OF SEMICONDUCTOR DEVICE
摘要
申请公布号 JPH0358447(A) 申请公布日期 1991.03.13
申请号 JP19890192661 申请日期 1989.07.27
申请人 OKI ELECTRIC IND CO LTD 发明人 UMETANI MASATO
分类号 H01L21/762;H01L21/76;H01L21/761;H01L27/08 主分类号 H01L21/762
代理机构 代理人
主权项
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