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经营范围
发明名称
PATTERN DEFECT INSPECTING DEVICE
摘要
申请公布号
JPH04109104(A)
申请公布日期
1992.04.10
申请号
JP19900226545
申请日期
1990.08.30
申请人
TOSHIBA CORP
发明人
INOUE HIROSHI;OKUDA KENTARO
分类号
G01B11/24;G06T1/00;G06T7/00
主分类号
G01B11/24
代理机构
代理人
主权项
地址
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