发明名称 PATTERN DEFECT INSPECTING DEVICE
摘要
申请公布号 JPH04109104(A) 申请公布日期 1992.04.10
申请号 JP19900226545 申请日期 1990.08.30
申请人 TOSHIBA CORP 发明人 INOUE HIROSHI;OKUDA KENTARO
分类号 G01B11/24;G06T1/00;G06T7/00 主分类号 G01B11/24
代理机构 代理人
主权项
地址