发明名称 Method for fabricating a mesa transistor-trench capacitor memory cell structure.
摘要
申请公布号 EP0463459(B1) 申请公布日期 1993.12.15
申请号 EP19910109555 申请日期 1991.06.11
申请人 INTERNATIONAL BUSINESS MACHINES CORPORATION 发明人 DHONG, SANG H.;HWANG, WEI
分类号 H01L21/8242;H01L27/10;H01L27/108;H01L27/04;H01L21/822;(IPC1-7):H01L21/82 主分类号 H01L21/8242
代理机构 代理人
主权项
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