| 发明名称 |
ATMOSPHERIC PRESSURE DISCHARGE DEVICE |
| 摘要 |
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| 申请公布号 |
JPH06251894(A) |
申请公布日期 |
1994.09.09 |
| 申请号 |
JP19930062746 |
申请日期 |
1993.02.26 |
| 申请人 |
SEMICONDUCTOR ENERGY LAB CO LTD |
发明人 |
KOINUMA HIDEOMI;INOMATA KIYOTO;INOUE TORU;MIYANAGA SHOJI |
| 分类号 |
C23F4/00;H01L21/302;H01L21/3065;H05H1/24;H05H1/46;(IPC1-7):H05H1/46 |
主分类号 |
C23F4/00 |
| 代理机构 |
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代理人 |
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| 主权项 |
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| 地址 |
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