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发明名称 PATTERN DEFECT INSPECTING DEVICE
摘要
申请公布号 JPH0854348(A) 申请公布日期 1996.02.27
申请号 JP19940191535 申请日期 1994.08.15
申请人 TOSHIBA CORP 发明人 INOUE HIROSHI
分类号 G01B11/00;G01B11/30;G01N21/88;G06T1/00;G06T7/00;H01L21/027;H05K3/00;(IPC1-7):G01N21/88 主分类号 G01B11/00
代理机构 代理人
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