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发明名称
摘要
申请公布号
JPH08511653(A)
申请公布日期
1996.12.03
申请号
JP19940519293
申请日期
1994.02.16
申请人
发明人
分类号
H01L21/31;H01L21/3105;H01L21/316;H01L21/768;(IPC1-7):H01L21/316
主分类号
H01L21/31
代理机构
代理人
主权项
地址
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