| 发明名称 |
VERTICAL TYPE ELECTRIC FURNACE |
| 摘要 |
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| 申请公布号 |
JPH08327238(A) |
申请公布日期 |
1996.12.13 |
| 申请号 |
JP19960099633 |
申请日期 |
1996.03.29 |
| 申请人 |
A S M INTERNATL NV |
发明人 |
FURANKU FUUSEN;GERARUDO BERENPASU;ARUBERUTO HASUPAA;KURISU JII EMU DE RITSUDAA |
| 分类号 |
H05B3/00;F27B1/09;F27B1/10;H01L21/00;H01L21/02;H01L21/22;(IPC1-7):F27B1/10 |
主分类号 |
H05B3/00 |
| 代理机构 |
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代理人 |
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| 主权项 |
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| 地址 |
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