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发明名称 OPTISCHE VENTILVORRICHTUNG
摘要
申请公布号 DE69131460(D1) 申请公布日期 1999.08.26
申请号 DE19916031460 申请日期 1991.04.26
申请人 JAPAN AS REPRESENTED BY DIRECTOR GENERAL OF AGENCY;SEIKO INSTRUMENTS INC. 发明人 HAYASHI, YUTAKA;KAMIYA, MASAAKI;KOJIMA, YOSHIKAZU;TAKASU, HIROAKI
分类号 G02F1/136;G02F1/1362;G02F1/1368;G09F9/30;G09G3/20;G09G3/36;H01L27/12;H01L29/78;H01L29/786;(IPC1-7):G02F1/136;H01L21/84;H01L21/304 主分类号 G02F1/136
代理机构 代理人
主权项
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