发明名称 Vakuumkammer
摘要
申请公布号 DE29918888(U1) 申请公布日期 2000.02.10
申请号 DE19992018888U 申请日期 1999.10.27
申请人 VTD VAKUUMTECHNIK DRESDEN GMBH 发明人
分类号 B01J3/00;C23C14/56;(IPC1-7):C23C14/56;C23C14/24 主分类号 B01J3/00
代理机构 代理人
主权项
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