防止挡片剥落之方法

摘要

一种防止挡片剥落之方法，首先提供一挡片，然后对挡片进行一图形定义，最后再形成至少一沈积层于挡片上。由于挡片上已经有经过图形定义流程，所以形成沈积层时，可以避免应力较大沈积层发生剥落情形。

主权项

1.一种防止挡片剥落之方法,包括:提供一挡片;对该挡片进行一图形定义;以及形成至少一沈积层,于该挡片上。2.如申请专利范围第1项所述之防止挡片剥落之方法,其中该图形定义系使用一化学液,将该挡片进行一表面处理。3.如申请专利范围第2项所述之防止挡片剥落之方法,其中该化学液系为一磷酸。4.如申请专利范围第2项所述之防止挡片剥落之方法,其中该表面处理系将挡片分成复数个小晶格。5.如申请专利范围第2项所述之防止挡片剥落之方法,其中该表面处理系将挡片表面造成凹凸不平。6.如申请专利范围第1项所述之防止挡片剥落之方法,其中该挡片系为一矽基底。7.如申请专利范围第1项所述之防止挡片剥落之方法,其中该沈积层包括一氮化矽。8.如申请专利范围第1项所述之防止挡片剥落之方法,其中该沈积层包括一复晶矽。9.如申请专利范围第1项所述之防止挡片剥落之方法,其中该沈积层包括一氧化层。图式简单说明:第一图绘示低压化学气相沈积之炉管结构;第二图A与第二图B绘示习知挡片之剖面与侧视图;以及第三图A与第三图B绘示本发明一较佳实施例的一种挡片之剖面与侧视图。