| 发明名称 |
Height scanning interferometry method and apparatus including phase gap analysis |
| 摘要 |
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| 申请公布号 |
AU4178402(A) |
申请公布日期 |
2002.05.27 |
| 申请号 |
AU20020041784 |
申请日期 |
2001.11.02 |
| 申请人 |
ZYGO CORPORATION |
发明人 |
PETER DE GROOT;JAMES W. KRAMER |
| 分类号 |
G01B9/02;G01B11/06;G01B11/24;G01B11/30 |
主分类号 |
G01B9/02 |
| 代理机构 |
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代理人 |
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| 主权项 |
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| 地址 |
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