| 发明名称 |
Herstellung von mikro-elektromechanischen Spiegelstrukturen |
| 摘要 |
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| 申请公布号 |
DE60118678(T2) |
申请公布日期 |
2006.08.31 |
| 申请号 |
DE2001618678T |
申请日期 |
2001.09.07 |
| 申请人 |
XEROX CORP. |
发明人 |
ROSA, MICHEL A.;PEETERS, ERIC |
| 分类号 |
G02B26/02;G02B26/08;B81B3/00;G02B6/35 |
主分类号 |
G02B26/02 |
| 代理机构 |
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代理人 |
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| 主权项 |
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| 地址 |
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