一种位相共轭成像光刻系统

摘要

一种位相共轭成像光刻系统包括：激光器、第一分光镜、第二分光镜、反射镜、第一扩束镜、第二扩束镜、第三扩束镜、非线性介质、对称分光棱镜、掩膜和硅片，激光器发出的光经第一分光镜分成两路：一路经第二分光镜后又分成两路，其中一路经过第一扩束镜扩束后作为一束泵浦光进入非线性介质，其中另一路经过反射镜、第三扩束镜扩束后作为另一束泵浦光进入非线性介质；经过第二分光镜后的另一路由第二扩束镜进行扩束，经过振幅掩模后，携带着掩模的成像信息被对称分光棱镜反射进入非线性介质中，与上述的两束泵浦光发生位相共轭，产生的位相共轭光透过对称分光棱镜在感光基片上成像，完成位相共轭成像光刻。本发明实现了大口径无像差投影成像，大大降低光学系统的技术难度和成本。

主权项

1.一种位相共轭成像光刻系统，其特征在于包括：激光器、第一分光镜、第二分光镜、反射镜、第一扩束镜、第二扩束镜、第三扩束镜、非线性介质、对称分光棱镜、掩膜和硅片，激光器发出的光经第一分光镜分成两路：一路经第二分光镜后又分成两路，其中一路经过第一扩束镜扩束后作为一束泵浦光进入非线性介质，其中另一路经过反射镜、第三扩束镜扩束后作为另一束泵浦光进入非线性介质；经过第二分光镜后的另一路由第二扩束镜进行扩束，经过振幅掩模后，携带着掩模的成像信息被对称分光棱镜反射进入非线性介质中，与上述的两束泵浦光发生位相共轭，产生的位相共轭光透过对称分光棱镜在感光基片上成像，完成位相共轭成像光刻。