五级金属直腔型高真空油扩散泵

摘要

本实用新型涉及高真空油扩散泵，具体地说是一种五级金属直腔型高真空油扩散泵。它包括泵体，设置在泵体内泵芯、油室和喷射嘴，位于泵体外面、底部的加热器；泵体为直容腔；泵芯包括一级导流管及其一级喷嘴、二级导流管及其二级喷嘴、三级导流管及其三级喷嘴、四级导流管及其四级喷嘴，二级导流管、三级导流管和四级导流管与油室连接，一级导流管装在二级导流管的上面；二级喷嘴、三级喷嘴和四级喷嘴的间隙为固定间隙。它结构简单，制作容易，显著提高高真空油扩散泵的抽气速率、拓宽抽气范围，气密性高，焊接变形小，提高工作效率；能获得10^-2～10^-6Pa高真空和超高真空环境。广泛用于航空航天、原子能、真空冶金、热处理、镀膜、化工等领域。

主权项

1、一种五级金属直腔型高真空油扩散泵，包括泵体，设置在泵体内的泵芯、油室和喷射嘴，位于泵体外面、底部的加热器，其特征在于：所述泵体(3)为直容腔；所述泵芯包括一级导流管(2)及其一级喷嘴(1)、二级导流管(6)及其二级喷嘴(4)、三级导流管(7)及其三级喷嘴(5)、四级导流管(13)及其四级喷嘴(14)；所述二级导流管(6)、所述三级导流管(7)和所述四级导流管(13)与所述油室(9)连接，所述一级导流管(2)装在所述二级导流管(6)的上面；所述二级喷嘴(4)、所述三级喷嘴(5)和所述四级喷嘴(14)的间隙为固定间隙。