| 摘要 |
본 발명은 연마 테이블로부터 연마 패드를 제거하지 않고 연마 패드의 연마면을 감시할 수 있는 방법을 제공한다. 방법은, 회전하는 드레서를 상기 연마면 상에서 요동시킴으로써 연마 패드의 연마면을 컨디셔닝하는 단계, 연마면의 컨디셔닝 단계가 수행될 때 연마면의 높이를 측정하는 단계, 연마면 상에 정의된 이차원 평면 상에 있어서의 높이의 측정점의 위치를 산출하는 단계 및 연마면의 높이의 측정 단계와 측정점의 위치의 산출 단계를 반복하여 연마면 내에 있어서의 높이 분포를 생성하는 단계를 포함한다. |
