发明名称 INSPECTING METHOD OF STATE OF CONTAMINATION OF SURFACE OF ELECTRONIC COMPONENT AFTER WASHING
摘要
申请公布号 JPH0460457(A) 申请公布日期 1992.02.26
申请号 JP19900170041 申请日期 1990.06.29
申请人 HITACHI LTD 发明人 EZAWA MASAYOSHI;MISUMI AKIRA;KAWANAKAKO HIROSHI;KAWAGOE HIROMI;NAKAOKA YASUNAGA
分类号 G01N31/00 主分类号 G01N31/00
代理机构 代理人
主权项
地址